2024-11-06
在整个半导体制造过程中,微粒污染;静电放电损坏以及与此相关联的设备停机,是静电带来的 三大问题。所以必须对静电加以控制。国际半导体发展路线图和SEMI标准提出了将静电控制在合适水准上的建议。静电控制方案包括了接地,静电耗散材料和空气电离化。为适应快速发展的半导体生产所带来的要求,静电耗散材料、空气离子器也在不断进行的变化。
在半导体器件生产车间,由于芯片上的灰尘吸附,超大规模集成电路的产量将大大降低。生产车间的操作人员穿着干净的工作服。如果人体充满静电,灰尘和污垢很容易被吸收。如果这些灰尘和污垢被带到操作现场,产品质量将受到影响,产品性能将恶化,成品率将大大降低。如果吸附的灰尘颗粒的半径大于线的宽度并且薄膜厚度较低,则产品最有可能报废。
因此,有必要在加工、生产和包装过程中建立静电保护系统。集成电路封装生产线对静电有更严格的要求。为保证生产线的正常运行,清洁车间应完全用防静电建筑材料装饰,所有进出清洁车间的人员应配备防静电服装等硬件措施。此外,包装企业可根据相关国家标准和企业实际情况制定企业标准或防静电的具体要求,配合包装生产线的正常运行。
由于除尘静电设备种类繁多,如何选择适合自己的产品主要取决于生产线上的条件。以下描述了几种可以除尘和静电的装置:
1、离子风扇: 离子风扇的主要作用是除静电,具有出众的除静电性能,防止静电污染及破坏。 用于电子生产线防止静电放电(ESD)现象,维修台等个人型静电防护区域(EPA)的理想设备。是专为局部区域而设计的。具有体积小,重量轻,安装方便等特点。
2、离子风棒:最小180mm长度 实现600-800mm范围除静电适用于狭小空间快速除静电要求
3、离子风嘴: 有三种款式:普通、感应和踏板,可以满足生产现场不同环境下客户的需求。离子风蛇适用于有空间放置、不需要人员操作的车站,但吹尘方向需要经常调整。